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無塵凈化室技術(shù)應(yīng)用

發(fā)布者:勤哲凈化 時(shí)間: 2019/6/28 16:01:49 瀏覽:1962次

無塵凈化室的氣流速度/換氣次數(shù),一直是凈化室室設(shè)計(jì)中受到關(guān)注的問題,隨著潔凈室污染源的控制效果增加及末級過濾器效率的提高等,對有關(guān)規(guī)范、導(dǎo)則等提出的推薦或參考值是否偏于保守,已有不少討論;FFU在應(yīng)用中人們擔(dān)心的噪音、損壞維修等問題已在實(shí)踐中得到解決,隨著FFU的不斷改進(jìn),對是否采用FFU回風(fēng)系統(tǒng)也是個(gè)熱點(diǎn):懸浮分子污染(AMC)的控制在微電子及IC工業(yè)中已日益提到日程上來,受到關(guān)注。以下對這些問題的情況分別作歸納和分析。

無塵凈化室內(nèi)一定潔凈度下氣流速度的確定,隨凈化室用途等具體情況而異,它不僅受室內(nèi)發(fā)塵量及過濾器效率還受其他因素影響,就工業(yè)潔凈室而言,影響潔凈度及選擇氣流速度的因素主要是:

1.室內(nèi)污染源:建筑物組件、人員數(shù)量及操作活動、工藝設(shè)備、工藝材料及工藝加工本身等都是塵粒釋放源,根據(jù)具體情況而異,變化很大;

2.室內(nèi)氣流流型及分布:單向流要求均勻、平等的流線,但會受到工藝設(shè)備布置和位置變動及人員活動情況等的干擾形成局部渦流;而非單向流要求充混合,避免死角及溫度分層。

此文關(guān)鍵字:無塵凈化室,凈化室,潔凈室

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